本公开的一个观点的激光系统在固体激光装置与准分子放大器之间的光路上配置有射束整形部、随机相位板和准直光学系统。在将入射到准分子放大器的激光的行进方向设为Z方向、将一对放电电极的放电方向设为V方向、将与V方向和Z方向正交的方向设为H方向、将射束整形部的与V方向对应的整形方向设为第1方向、将射束整形部的与H方向对应的整形方向设为第2方向、将第1方向的放大率设为E1、将第2方向的放大率设为E2的情况下，射束整形部以由E2/E1定义的放大率比超过1的方式对激光的射束截面进行放大。