本发明提供一种调平装置、系统及方法，装置包括：固定台、移动台和工作台。固定台顶面沿X方向的两端部具有第一倾斜面或凹弧面，第一倾斜面或凹弧面沿X方向的远端相对其近端倾斜向上；移动台底部沿水平面X方向的两端分别与相应第一倾斜面或凹弧面抵接且能够在其上上下移动，以调节工作台顶面沿X方向的水平度；移动台的顶面沿Y方向的两端部具有第二倾斜面或凹弧面，第二倾斜面或凹弧面沿Y方向的远端相对其近端倾斜向上；工作台底部沿水平面Y方向的两端分别与相应的第二倾斜面或凹弧面抵接且能够在其上上下移动，以调节工作平顶面沿Y方向的水平度。本发明具有结构简单、调整精度高且适宜恶劣工况环境等优点。