本发明涉及一种高性能单细胞电阻抗检测微电极及制备方法，在微流体通道两侧分别设置激发电极和检测电极，激发/检测电极可为一对或多对；并在激发电极和检测电极以外的区域设置接地电极。与传统共面电极单细胞电阻抗检测相比，两侧对称电极可以使得检测区域的电场分布更加均匀，提高检测精度；而设置接地电极可以提高检测区域的电场集中度，同时避免多对电极间电场的相互干扰，提升细胞或颗粒检测的信号强度。该方法对于准确获得单细胞或微粒稳定的、高信噪比的电阻抗值，具有非常重要的实用价值和创新意义，可有效解决目前单细胞电阻抗值不稳定，噪声干扰大的问题。