一种体声波谐振器和体声波滤波器
摘要:
本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器,涉及滤波器技术领域,包括:基底以及设置于基底上的压电堆叠结构,压电堆叠结构包括依次层叠设置的底电极、压电材料层和顶电极,顶电极在基底上的正投影的轮廓包括至少一条阶数大于或等于2的贝塞尔曲线。如此,能够增加横向声波横向传播路径的长度,以此使得横向声波在传播过程中的损耗增大,从而减小横向声波对体声波谐振器带来的横向寄生模态的影响,即提高体声波谐振器对横向寄生模态的抑制效果,进而提高体声波滤波器的性能。
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