发明公开
- 专利标题: 混合维度范德华异质结室温双色红外探测器及制备方法
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申请号: CN202111128166.8申请日: 2021-09-26
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公开(公告)号: CN113823702A公开(公告)日: 2021-12-21
- 发明人: 胡伟达 , 吴培松 , 王鹏 , 李庆 , 张莉丽 , 王芳 , 谢润章 , 苗金水 , 王振 , 贺婷 , 付晓 , 陈效双 , 陆卫
- 申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 代理机构: 上海沪慧律师事务所
- 代理商 郭英
- 主分类号: H01L31/0232
- IPC分类号: H01L31/0232 ; H01L31/032 ; H01L31/11 ; H01L31/18 ; G01J5/10
摘要:
本发明公开了一种混合维度范德华异质结室温双色红外探测器及制备方法。器件的制备步骤是利用一定比例的氢氟酸和氟化铵制备的缓冲氧化物刻蚀液刻蚀双面抛光的Si/SiO2,形成Si窗口。利用聚碳酸亚丙酯薄膜无损转移的二维范德华材料异质结至Si窗口形成PNP(NPN)异质结构。利用光电三极管能带结构实现双波段红外信号探测,同时利用Si材料高吸光率作为近红外光敏材料和长波通滤波片来降低串扰,提升器件双波段红外响应。本发明的特点是将三维薄膜材料与二维范德华材料相结合,实现近红外/中红外室温探测,制作成本低、工艺简单易制备、探测率高、工作温度高。