本发明实施例公开了一种垂直分布反馈面发射激光器及其制备方法，该激光器包括第一腔面、周期性分布反馈结构和第二腔面；沿第一方向，设置周期性分布反馈结构包括多个分布反馈结构，且分布反馈结构包括氧化层、有源区和隧道结，通过设置多个氧化层替代二阶光栅调节光均匀分布，同时设置氧化层为高阻抗结构，控制电流流经方向，提高出光功率，进一步的，设置周期性分布反馈结构的周期为垂直分布反馈面发射激光器的有效出射波长的半波长的整数倍，限定激光器的出射波长范围，减小光谱线宽，提高激光器的波长稳定性。本发明解决了现有技术中激光器的波长稳定性差、功率密度较低、结构较复杂，难以实现大量生产以及窄线宽应用要求的技术问题。