发明公开
CN113832441A 一种多层复合膜及其制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题： 一种多层复合膜及其制备方法
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申请号： CN202111127420.2申请日： 2021-09-26
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公开(公告)号： CN113832441A公开(公告)日： 2021-12-24
- 发明人: 邓洪运 , 刘曙光 , 许奎雪 , 史春生
- 申请人： 北京市春立正达医疗器械股份有限公司 , 邢台市琅泰本元医疗器械有限公司
- 申请人地址： 北京市通州区通州经济开发区南区鑫觅西二路10号;
- 专利权人： 北京市春立正达医疗器械股份有限公司,邢台市琅泰本元医疗器械有限公司
- 当前专利权人： 北京市春立正达医疗器械股份有限公司,邢台市琅泰本元医疗器械有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市通州区通州经济开发区南区鑫觅西二路10号;
- 代理机构： 北京中和立达知识产权代理有限公司
- 代理商 祝妍
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/06 ; C23C14/14
摘要：
本发明提供一种多层复合膜，包括：过渡层和与其层叠的多层膜层，其中，所述多层膜层包括交替沉积的Ta、TaN膜层，且Ta、TaN膜层的厚度比为1:1。其优点是：提高了膜层的机械性能、韧性，改善膜层的耐磨损性能。
IPC分类:
