Invention Grant
- Patent Title: 一种测量压电陶瓷驱动器负载下位移输出的装置
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Application No.: CN202111154753.4Application Date: 2021-09-29
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Publication No.: CN113866544BPublication Date: 2023-05-30
- Inventor: 童兴野 , 周佳骏 , 陈胜华 , 刘红 , 程云涛
- Applicant: 中国科学院光电技术研究所
- Applicant Address: 四川省成都市双流350信箱
- Assignee: 中国科学院光电技术研究所
- Current Assignee: 中国科学院光电技术研究所
- Current Assignee Address: 四川省成都市双流350信箱
- Agency: 北京科迪生专利代理有限责任公司
- Agent 江亚平
- Main IPC: G01R31/00
- IPC: G01R31/00 ; G01R29/22
Public/Granted literature
- CN113866544A 一种测量压电陶瓷驱动器负载下位移输出的装置 Public/Granted day:2021-12-31
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