发明授权
- 专利标题: 一种铜粉表面生长石墨烯薄膜的方法
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申请号: CN202010573258.6申请日: 2020-06-22
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公开(公告)号: CN113897590B公开(公告)日: 2024-05-07
- 发明人: 马瑜 , 杨军 , 沈晗睿 , 吕雪超 , 曹函星
- 申请人: 上海新池能源科技有限公司 , 浙江正泰电器股份有限公司
- 申请人地址: 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路1411号4幢202室;
- 专利权人: 上海新池能源科技有限公司,浙江正泰电器股份有限公司
- 当前专利权人: 上海新池能源科技有限公司,浙江正泰电器股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路1411号4幢202室;
- 代理机构: 北京卓言知识产权代理事务所
- 代理商 王茀智; 龚清媛
- 主分类号: C23C16/26
- IPC分类号: C23C16/26 ; C23C16/02 ; C23C16/44
摘要:
一种铜粉表面生长石墨烯薄膜的方法,上述方法包括如下步骤:S1:铜粉或铜粉混合物在化学气相沉积炉中初步升温至氧化温度后,对铜粉进行预氧化处理;S2:预氧化处理结束,化学气相沉积炉中继续升温至成长温度后,同时进行铜粉表面的还原和石墨烯的生长操作;S3:生长结束后,对生长产物进行降温处理。本发明铜粉表面生长石墨烯薄膜的方法,简化了铜粉表面石墨烯薄膜的成长工艺,提升了整体的工艺效率。并且,预氧化处理配合后期的还原及生长操作,减少了铜粉表面的成核点,使铜粉表面生长形成的石墨烯薄膜的晶粒尺寸较大,通常能达到5~10微米,石墨烯的晶界和缺陷减少,石墨烯的品质得到了很大地提升。
公开/授权文献
- CN113897590A 一种铜粉表面生长石墨烯薄膜的方法 公开/授权日:2022-01-07
IPC分类: