本公开涉及一种检测封装器件抗水汽影响的方法及系统，方法包括：抽取密封腔体内气体，制造真空条件；其中，所述密封腔体内设置有待测封装器件；向所述密封腔体内通入水汽与惰性气体的混合气体，实时监测所述密封腔体内气压数据，使得所述密封腔体内气压稳定在目标气压；实时监测所述密封腔体内水汽浓度，并根据所述水汽浓度调节所述混合气体的流速以及水汽含量，直至所述密封腔体内的气氛环境达到目标气氛的特征参数，停止通入所述混合气体；实时监测所述待测封装器件的电气性能数据，获得所述待测封装器件的抗水汽影响的评估结果。本公开有助于对单一水汽影响失效机理的加速评价，提高了检测封装器件抗水汽影响能力的准确性和可靠性。