发明公开
- 专利标题： 光致抗蚀剂组合物及图案形成方法
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申请号： CN202110781813.9申请日： 2021-07-09
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公开(公告)号： CN113946097A公开(公告)日： 2022-01-18
- 发明人: E·阿卡德 , B·温宁 , C-B·李 , J·W·萨克莱 , K·杨 , J·F·卡梅伦
- 申请人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- 当前专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 陈哲锋; 乐洪咏
- 优先权： 63/052172 20200715 US 17/339522 20210604 US
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004
摘要：
一种光致抗蚀剂组合物，其包含：第一聚合物，所述第一聚合物含有包含羟基‑芳基的第一重复单元和包含酸不稳定基团的第二重复单元；第二聚合物，所述第二聚合物含有包含酸不稳定基团的第一重复单元、包含内酯基团的第二重复单元、和包含碱可溶解的基团的第三重复单元，其中，所述碱可溶解的基团具有小于或等于12的pKa，并且其中所述碱可溶解的基团不包含羟基取代的芳基；光酸产生剂；和溶剂；其中所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同。
IPC分类:
