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公开(公告)号:CN113946097A
公开(公告)日:2022-01-18
申请号:CN202110781813.9
申请日:2021-07-09
申请人: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
IPC分类号: G03F7/004
摘要: 一种光致抗蚀剂组合物,其包含:第一聚合物,所述第一聚合物含有包含羟基‑芳基的第一重复单元和包含酸不稳定基团的第二重复单元;第二聚合物,所述第二聚合物含有包含酸不稳定基团的第一重复单元、包含内酯基团的第二重复单元、和包含碱可溶解的基团的第三重复单元,其中,所述碱可溶解的基团具有小于或等于12的pKa,并且其中所述碱可溶解的基团不包含羟基取代的芳基;光酸产生剂;和溶剂;其中所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同。
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公开(公告)号:CN114253071A
公开(公告)日:2022-03-29
申请号:CN202111117990.3
申请日:2021-09-22
申请人: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
IPC分类号: G03F7/004
摘要: 光致抗蚀剂组合物包含:第一聚合物,其包含含有羟基‑芳基基团的第一重复单元和含有酸不稳定基团的第二重复单元,其中,所述第一聚合物不包含内酯基团;第二聚合物,其包含含有羟基‑芳基基团的第一重复单元、含有酸不稳定基团的第二重复单元、和含有内酯基团的第三重复单元;光酸产生剂;以及溶剂。
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