激光器芯片及其制备方法
摘要:
本发明实施例提供了一种激光器芯片及其制备方法。其中,所述激光器芯片包括:外延层结构,位于衬底的第一表面上,包括堆叠设置的第一布拉格反射镜层、量子阱层、第二布拉格反射镜层;所述第二布拉格反射镜层具有至少一个柱状结构;第一电极,位于所述量子阱层上;所述第一电极包覆所述柱状结构,且具有孔状结构;所述柱状结构的至少部分顶表面通过所述孔状结构裸露;会聚透镜,至少覆盖所述柱状结构裸露的顶表面,用于对从柱状结构顶面发出的光进行汇聚;第二电极,位于所述衬底的第二表面;所述第二表面为与所述第一表面互为相反面。
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