-
公开(公告)号：CN106207751B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201610845797.4
申请日：2016-09-20
申请人： 武汉光迅科技股份有限公司 , 武汉电信器件有限公司
摘要： 本发明涉及半导体技术领域，提供了一种基于光学介质膜钝化的垂直腔面激光器及其制备方法。其中本发明在于利用光学介质膜作为DBR反射镜材料，并且作为激光器腔面的钝化介质膜。光学介质膜取代传统的DBR反射膜，能有效的降低垂直腔激光器的串联电阻、吸收损耗和界面损耗，从而改善激光器的热特性。光学介质膜同样是很好的电介质薄膜，用它来做激光器的表面钝化，既简化了工艺，节省了钝化成本，又能有效的保护激光器的腔面，改善激光器的可靠性。
-
公开(公告)号：CN106654856A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201710113863.3
申请日：2017-02-28
申请人： 武汉光迅科技股份有限公司 , 武汉电信器件有限公司
IPC分类号： H01S5/183
CPC分类号： H01S5/18313
摘要： 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8；其中，所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅；所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入，实现有源区电流的各向异性注入，有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题，如空间烧孔现象等，同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题，实现在颈向的自聚偏振光输出。
-
公开(公告)号：CN106654856B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201710113863.3
申请日：2017-02-28
申请人： 武汉光迅科技股份有限公司 , 武汉电信器件有限公司
IPC分类号： H01S5/183
摘要： 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8；其中，所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅；所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入，实现有源区电流的各向异性注入，有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题，如空间烧孔现象等，同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题，实现在颈向的自聚偏振光输出。
-
公开(公告)号：CN113948963A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111160245.7
申请日：2021-09-30
申请人： 武汉光迅科技股份有限公司
IPC分类号： H01S5/042 , H01S5/02253 , H01S5/183 , H01S5/34
摘要： 本发明实施例提供了一种激光器芯片及其制备方法。其中，所述激光器芯片包括：外延层结构，位于衬底的第一表面上，包括堆叠设置的第一布拉格反射镜层、量子阱层、第二布拉格反射镜层；所述第二布拉格反射镜层具有至少一个柱状结构；第一电极，位于所述量子阱层上；所述第一电极包覆所述柱状结构，且具有孔状结构；所述柱状结构的至少部分顶表面通过所述孔状结构裸露；会聚透镜，至少覆盖所述柱状结构裸露的顶表面，用于对从柱状结构顶面发出的光进行汇聚；第二电极，位于所述衬底的第二表面；所述第二表面为与所述第一表面互为相反面。
-
公开(公告)号：CN106207751A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610845797.4
申请日：2016-09-20
申请人： 武汉光迅科技股份有限公司 , 武汉电信器件有限公司
CPC分类号： H01S5/18361 , H01S5/187
摘要： 本发明涉及半导体技术领域，提供了一种基于光学介质膜钝化的垂直腔面激光器及其制备方法。其中本发明在于利用光学介质膜作为DBR反射镜材料，并且作为激光器腔面的钝化介质膜。光学介质膜取代传统的DBR反射膜，能有效的降低垂直腔激光器的串联电阻、吸收损耗和界面损耗，从而改善激光器的热特性。光学介质膜同样是很好的电介质薄膜，用它来做激光器的表面钝化，既简化了工艺，节省了钝化成本，又能有效的保护激光器的腔面，改善激光器的可靠性。
-
公开(公告)号：CN116454726A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210011904.9
申请日：2022-01-06
申请人： 武汉光迅科技股份有限公司
IPC分类号： H01S5/028 , C23C16/40 , C23C16/34 , C23C16/455
摘要： 本发明涉及半导体光组件封装工艺技术领域，提供了一种用于非气密封装的光组件及密封方法。其芯片阵列贴于过渡块上，并且对其分别进行金丝键合，键合完成之后，利用原子沉积技术对该器件进行钝化膜生长，进行水汽保护。本发明将制备之后的光组件半成品通过ALD生长钝化膜进行防水处理，由于ALD技术的生长特点，该薄膜能够对器件中所有的材料，进行全方位的钝化保护，实现组件的非气密封装。
-
公开(公告)号：CN116111450A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202111333190.5
申请日：2021-11-11
申请人： 武汉光迅科技股份有限公司
摘要： 本公开实施例提供了一种激光器及其制作方法。其中，所述激光器包括：堆叠设置的第一布拉格反射镜层、有源层和第二布拉格反射镜层，位于衬底的第一表面上；出光结构，沿垂直于所述衬底的方向贯穿所述第二布拉格反射镜层；柱状结构，沿垂直于所述衬底的方向贯穿所述第二布拉格反射镜层；其中，所述柱状结构与所述出光结构的形成位置不同，所述柱状结构相对远离所述有源层的表面为粗糙表面；第一电极，位于所述第二布拉格反射镜层上，覆盖所述柱状结构相对远离所述有源层的表面；第二电极，位于所述衬底的第二表面，所述第二表面与所述第一表面互为相反面。
-
公开(公告)号：CN214540029U
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202120769012.6
申请日：2021-04-14
申请人： 武汉光迅科技股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及激光雷达技术领域，尤其涉及一种激光雷达探测系统，包括主动探测系统以及被动探测系统，具体的，主动探测系统包括带主动探测光源的激光探测装置；被动探测系统包括双色或者多色成像探测器、与双色或者多色成像探测器相对应的被动信号接收端、与激光探测装置相对应的主动信号接收端、与被动信号接收端及主动信号接收端相连的读出电路结构；主动探测系统与被动探测系统相结合形成激光雷达探测系统。本实用新型既保证了高效的性能，还极大的提升了系统的集成度，同时也给未来雷达系统封装精简化提供了可能。
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
8 条记录 (耗时 0.041 秒)
