- 专利标题: 一种大尺寸高品质钽铌酸钾陶瓷靶材的制备方法
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申请号: CN202111448241.9申请日: 2021-11-30
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公开(公告)号: CN113956039B公开(公告)日: 2022-08-23
- 发明人: 王旭平 , 左香港 , 杨玉国 , 邱程程 , 张绍东 , 刘冰
- 申请人: 山东山科智晶光电科技有限公司
- 申请人地址: 山东省济南市历下区科院路19号众创空间203-A
- 专利权人: 山东山科智晶光电科技有限公司
- 当前专利权人: 山东山科智晶光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省济南市历下区科院路19号众创空间203-A
- 代理机构: 济南圣达知识产权代理有限公司
- 代理商 王磊
- 主分类号: C04B35/495
- IPC分类号: C04B35/495 ; C04B35/622 ; C04B35/638
摘要:
本发明属于无机非金属材料领域,涉及人工晶体及功能陶瓷材料制备,具体涉及一种大尺寸高品质钽铌酸钾陶瓷靶材的制备方法。其制备方法为:时将钽铌酸钾晶体废料进行清洗获得陶瓷前体,将陶瓷前体破碎过筛获得前体粉末,将前体粉末与粘结剂混合后进行造粒,将造粒后的粉末依次进行干压成型、升温排胶、烧结,即得;其中,清洗钽铌酸钾晶体废料的过程包括:将钽铌酸钾晶体废料浸泡至酸溶液中去除碱性成分。本发明采用钽铌酸钾晶体废料为原料,实现了资源合理化再利用,制作过程中没有固相反应发生,因此烧结时间短,且制成的陶瓷靶材物相均一,尺寸可控。
公开/授权文献
- CN113956039A 一种大尺寸高品质钽铌酸钾陶瓷靶材的制备方法 公开/授权日:2022-01-21
IPC分类: