真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法
摘要:
本申请实施例提供一种真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法。本申请实施例的真空干燥装置通过在外腔体的内部设置内隔体,采用监控装置来监控OLED基板的干燥情况,并采用控制装置基于OLED基板的干燥情况对内隔体上的可调节气孔的大小进行调整。当OLED基板上周边区域的干燥速率较快时,可以通过降低内隔体上位于OLED基板周围的区域的可调节气孔的尺寸,来降低OLED基板上周边区域的干燥速率,使OLED基板的周边区域与中间区域的干燥速率保持一致,从而使得干燥结束后OLED基板上各个区域的膜层的厚度保持均匀,制得的OLED显示面板上各个区域的亮度也保持一致。
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