- 专利标题: 真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法
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申请号: CN202111182719.8申请日: 2021-10-11
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公开(公告)号: CN113972348B公开(公告)日: 2023-05-30
- 发明人: 张文林
- 申请人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
- 代理机构: 深圳紫藤知识产权代理有限公司
- 代理商 黄舒悦
- 主分类号: H10K71/16
- IPC分类号: H10K71/16 ; H01L21/67 ; H10K71/13
摘要:
本申请实施例提供一种真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法。本申请实施例的真空干燥装置通过在外腔体的内部设置内隔体,采用监控装置来监控OLED基板的干燥情况,并采用控制装置基于OLED基板的干燥情况对内隔体上的可调节气孔的大小进行调整。当OLED基板上周边区域的干燥速率较快时,可以通过降低内隔体上位于OLED基板周围的区域的可调节气孔的尺寸,来降低OLED基板上周边区域的干燥速率,使OLED基板的周边区域与中间区域的干燥速率保持一致,从而使得干燥结束后OLED基板上各个区域的膜层的厚度保持均匀,制得的OLED显示面板上各个区域的亮度也保持一致。
公开/授权文献
- CN113972348A 真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法 公开/授权日:2022-01-25