公开(公告)号：CN113972348B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202111182719.8

申请日：2021-10-11

申请人： 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

发明人： 张文林

IPC分类号： H10K71/16 ,  H01L21/67 ,  H10K71/13

摘要： 本申请实施例提供一种真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法。本申请实施例的真空干燥装置通过在外腔体的内部设置内隔体，采用监控装置来监控OLED基板的干燥情况，并采用控制装置基于OLED基板的干燥情况对内隔体上的可调节气孔的大小进行调整。当OLED基板上周边区域的干燥速率较快时，可以通过降低内隔体上位于OLED基板周围的区域的可调节气孔的尺寸，来降低OLED基板上周边区域的干燥速率，使OLED基板的周边区域与中间区域的干燥速率保持一致，从而使得干燥结束后OLED基板上各个区域的膜层的厚度保持均匀，制得的OLED显示面板上各个区域的亮度也保持一致。

公开(公告)号：CN113972348A

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN202111182719.8

申请日：2021-10-11

申请人： 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

发明人： 张文林

IPC分类号： H01L51/56 ,  H01L21/67

摘要： 本申请实施例提供一种真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法。本申请实施例的真空干燥装置通过在外腔体的内部设置内隔体，采用监控装置来监控OLED基板的干燥情况，并采用控制装置基于OLED基板的干燥情况对内隔体上的可调节气孔的大小进行调整。当OLED基板上周边区域的干燥速率较快时，可以通过降低内隔体上位于OLED基板周围的区域的可调节气孔的尺寸，来降低OLED基板上周边区域的干燥速率，使OLED基板的周边区域与中间区域的干燥速率保持一致，从而使得干燥结束后OLED基板上各个区域的膜层的厚度保持均匀，制得的OLED显示面板上各个区域的亮度也保持一致。