本发明提供一种利用EB‑PVD技术制备的高熵氧化物超高温热障涂层及其方法，该方法包括以下步骤：1)分别称取ZrO2、Y2O3、Ta2O5、Nb2O5和Yb2O3；2)将原料进行湿法球磨，烘干，第一次烧结，造粒；3)经冷等静压制成陶瓷胚体，第二次烧结，得到陶瓷靶材；4)提供一种合金基体，进行磨抛处理，喷砂粗化，清洗，利用APS技术在表面制备NiCoCrAlY粘结层；5)将合金基体装入高温合金夹具，将陶瓷靶材放入电子束物理气相沉积设备中，用高能电子束熔化靶材使得蒸发的靶材原子沉积到粘结层表面，即得。根据本发明制备的热障涂层能够在1600℃高温下仍保持四方相，可应用于下一代航空发动机热障涂层材料。