基于F-P干涉的复合式MEMS矢量水听器
摘要:
本发明为一种基于F‑P干涉的复合式MEMS矢量水听器,属于MEMS传感器技术领域。本发明包括固定连接的基座和底座,基座上刻蚀形成中心位置的十字形悬臂梁以及四个圆柱型腔体,悬臂梁和四个腔体薄膜的底面设置有反射膜,底座上位于四个圆柱型腔体的中心位置处以及位于四根悬臂梁最大位移的位置处分别安装有连接光纤的光纤准直器,安装光纤准直器的位置均形成F‑P腔。本发明采用十字形悬臂梁和声压薄膜与F‑P干涉技术相结合,分别将部分光纤准直器与每根悬臂梁形成F‑P腔作为矢量检测部分,将其余光纤准直器与对应的声压薄膜形成F‑P腔作为声压检测部分。本发明水听器克服了左右弦模糊的问题,满足了高灵敏度、微型化、高精度,抗电磁干扰的要求。
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