发明公开
- 专利标题: 具有在生坯片陶瓷上的金属化材料的次微米均匀性的精密丝网印刷
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申请号: CN202111293609.9申请日: 2017-08-04
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公开(公告)号: CN114005782A公开(公告)日: 2022-02-01
- 发明人: S-Y·黄 , S·巴巴扬 , P·克里米诺儿 , S·普劳蒂 , A·黄
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 侯颖媖; 张鑫
- 优先权: 62/371,636 20160805 US 15/667,281 20170802 US
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683
摘要:
描述了精密丝网印刷,所述精密丝网印刷能够使得印刷在生坯片陶瓷上的金属化材料具有次微米均匀性。在一些示例中,通过在陶瓷生坯片上以电迹线的图案而丝网印刷含有金属的糊料而形成具有电迹线的圆盘,并且处理所印刷的生坯片以形成工件载体的圆盘。在一些示例中,所述印刷包括当所述生坯片在丝网印刷机的印刷机床上时,将所述丝网印刷机的刮片以刮墨方向施加到所印刷的生坯片上。方法进一步包括沿所述刮墨方向在多个位置处映射所述印刷机床,识别印刷机床映射中的不均匀性,以及修改所述丝网印刷机的印刷机控制器,以补偿所述印刷机床中的映射的不均匀性。
IPC分类: