公开(公告)号：CN109564383B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN201780048820.X

申请日：2017-08-04

申请人： 应用材料公司

发明人： S-Y·黄 ,  S·巴巴扬 ,  P·克里米诺儿 ,  S·普劳蒂 ,  A·黄

IPC分类号： G03F5/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/12

摘要： 描述了精密丝网印刷，所述精密丝网印刷能够使得印刷在生坯片陶瓷上的金属化材料具有次微米均匀性。在一些示例中，通过在陶瓷生坯片上以电迹线的图案而丝网印刷含有金属的糊料而形成具有电迹线的圆盘，并且处理所印刷的生坯片以形成工件载体的圆盘。在一些示例中，所述印刷包括当所述生坯片在丝网印刷机的印刷机床上时，将所述丝网印刷机的刮片以刮墨方向施加到所印刷的生坯片上。方法进一步包括沿所述刮墨方向在多个位置处映射所述印刷机床，识别印刷机床映射中的不均匀性，以及修改所述丝网印刷机的印刷机控制器，以补偿所述印刷机床中的映射的不均匀性。

公开(公告)号：CN109564383A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201780048820.X

申请日：2017-08-04

申请人： 应用材料公司

发明人： S-Y·黄 ,  S·巴巴扬 ,  P·克里米诺儿 ,  S·普劳蒂 ,  A·黄

IPC分类号： G03F5/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/12

CPC分类号： H01L21/6833 ,  B41F15/423 ,  B41P2200/40 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68785 ,  H05B3/283 ,  H05B2203/017 ,  H05K1/0201 ,  H05K1/0212 ,  H05K1/0306 ,  H05K1/165 ,  H05K1/167 ,  H05K1/181 ,  H05K3/0097 ,  H05K3/1233 ,  H05K3/1291 ,  H05K2203/0139 ,  H05K2203/162 ,  H05K2203/163 ,  H05K2203/166

摘要： 描述了精密丝网印刷，所述精密丝网印刷能够使得印刷在生坯片陶瓷上的金属化材料具有次微米均匀性。在一些示例中，通过在陶瓷生坯片上以电迹线的图案而丝网印刷含有金属的糊料而形成具有电迹线的圆盘，并且处理所印刷的生坯片以形成工件载体的圆盘。在一些示例中，所述印刷包括当所述生坯片在丝网印刷机的印刷机床上时，将所述丝网印刷机的刮片以刮墨方向施加到所印刷的生坯片上。方法进一步包括沿所述刮墨方向在多个位置处映射所述印刷机床，识别印刷机床映射中的不均匀性，以及修改所述丝网印刷机的印刷机控制器，以补偿所述印刷机床中的映射的不均匀性。

公开(公告)号：CN116711062A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202280008136.X

申请日：2022-03-08

申请人： 应用材料公司

发明人： A·苏莱曼 ,  C·黄 ,  R·丁德萨 ,  T·J·富兰克林 ,  S·巴巴扬 ,  A·侯赛因 ,  J·H·罗杰斯 ,  常雪杨

IPC分类号： H01L21/683

摘要： 本文提供了用于基板处理腔室的升降杆机构的方法和设备。在一些实施例中，升降杆机构包括升降杆，所述升降杆包括轴，所述轴具有顶端、底端和在底端处的耦接端；波纹管组件设置在轴周围。波纹管组件包括：上波纹管凸缘，所述上波纹管凸缘具有开口以用于轴的轴向移动；波纹管，所述波纹管具有第一端，所述第一端耦接到上波纹管凸缘的下表面，使得轴延伸到由波纹管围绕的中心空间中；以及波纹管引导组件，所述波纹管引导组件耦接到波纹管的第二端以密封中心空间。轴在耦接端处耦接到波纹管引导组件。波纹管引导组件可轴向移动以相对于上波纹管凸缘移动升降杆。

公开(公告)号：CN113853673A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202080036999.9

申请日：2020-05-20

申请人： 应用材料公司

发明人： L·沃尔福夫斯基 ,  A·施密特 ,  D·M·库萨 ,  N·M·科佩奇 ,  S·巴巴扬 ,  D·R·麦考利斯特 ,  H·李 ,  J·胡金斯 ,  D·K·考克斯

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  B25J15/06 ,  B25J18/00

摘要： 一种处理配件环适配器，包括刚性载体。刚性载体包括上表面和下表面。上表面包括第一远侧部分和第二远侧部分以支撑处理配件环。下表面包括第一区域和实心平面中央区域，第一区域与被配置为支撑晶片的终端受动器对接，实心平面中央区域与真空吸盘对接。

公开(公告)号：CN113906548A

公开(公告)日：2022-01-07

申请号：CN202080036984.2

申请日：2020-05-20

申请人： 应用材料公司

发明人： H·李 ,  N·M·科佩奇 ,  L·沃尔福夫斯基 ,  D·R·麦考利斯特 ,  A·施密特 ,  J·胡金斯 ,  Y·S·维什瓦纳坦 ,  S·巴巴扬

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677

摘要： 一种处理套组外壳系统，包括：用以封围内部容积的表面、包括第一鳍片的第一支撑结构、包括第二鳍片的第二支撑结构、以及用于将处理套组外壳系统与晶圆处理系统的装载端口接合的前接口。第一鳍片和第二鳍片被设置大小和间隔以在内部容积中保持处理套组环载具和处理套组环。每一个处理套组环经固定至处理套组环载具中的一者。处理套组外壳系统实现固定第一处理套组环的第一处理套组环载具从处理套组外壳系统到晶圆处理系统中的第一自动传送、以及固定第二处理套组环的第二处理套组环载具从晶圆处理系统到处理套组外壳系统中的第二自动传送。

公开(公告)号：CN113853673B

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202080036999.9

申请日：2020-05-20

申请人： 应用材料公司

发明人： L·沃尔福夫斯基 ,  A·施密特 ,  D·M·库萨 ,  N·M·科佩奇 ,  S·巴巴扬 ,  D·R·麦考利斯特 ,  H·李 ,  J·胡金斯 ,  D·K·考克斯

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  B25J15/06 ,  B25J18/00

摘要： 一种处理配件环适配器，包括刚性载体。刚性载体包括上表面和下表面。上表面包括第一远侧部分和第二远侧部分以支撑处理配件环。下表面包括第一区域和实心平面中央区域，第一区域与被配置为支撑晶片的终端受动器对接，实心平面中央区域与真空吸盘对接。

公开(公告)号：CN114005782A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202111293609.9

申请日：2017-08-04

申请人： 应用材料公司

发明人： S-Y·黄 ,  S·巴巴扬 ,  P·克里米诺儿 ,  S·普劳蒂 ,  A·黄

IPC分类号： H01L21/683

摘要： 描述了精密丝网印刷，所述精密丝网印刷能够使得印刷在生坯片陶瓷上的金属化材料具有次微米均匀性。在一些示例中，通过在陶瓷生坯片上以电迹线的图案而丝网印刷含有金属的糊料而形成具有电迹线的圆盘，并且处理所印刷的生坯片以形成工件载体的圆盘。在一些示例中，所述印刷包括当所述生坯片在丝网印刷机的印刷机床上时，将所述丝网印刷机的刮片以刮墨方向施加到所印刷的生坯片上。方法进一步包括沿所述刮墨方向在多个位置处映射所述印刷机床，识别印刷机床映射中的不均匀性，以及修改所述丝网印刷机的印刷机控制器，以补偿所述印刷机床中的映射的不均匀性。