本发明公开了一种高纯硝酸的连续生产方法，该生产方法为采用循环载气方法进行提纯工业硝酸，该循环载气方法为利用不同温度下硝酸的饱和蒸汽压不同，将载气气体鼓入硝酸物料中，获得硝酸饱和的混合气，而后在换热器中降温，实现硝酸的过饱和析出，进而实现硝酸物料的传输与提纯工作，载气气体在工艺中循环使用。采用本发明工艺制备的超高纯硝酸各单项金属离子含量低于10ppt，除硝酸根外，各单项阴离子小于50ppb。与已有方法相比，本发明工艺和设备简单，生产效率高，产品质量稳定，能耗低，产品满足甚至超过SEMI C12标准的要求，可用于高集成度芯片的清洗和刻蚀。