一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元、芯片以及水听器
摘要:
本发明公开了一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元,其包括由下向上依次设置的SOI基片、第一AIN压电层、第一电极层、隔离层、第二AIN压电层以及第二电极层;第一电极层与第一AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同;第一电极层包括第一正电极和第一负电极;第一正电极设置于第一电极层的中心区域且呈圆形;第一负电极设置于第一电极层的外侧边缘区域且呈环形;第二电极层与第二AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同;第二电极层包括第二正电极和第二负电极;第二正电极设置于第二电极层的中心区域且呈圆形;第二负电极设置于第二电极层的外侧边缘区域且呈环形。本发明利于提高压电效率以及压电电荷的采集效率,从而提高水听器芯片的灵敏度。
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