本发明公开了一种具有电感耦合放电清洗功能的样品台，包括样品架，所述样品架下方设有等离子体源机构，所述等离子体源机构包括绝缘壳体、容纳于所述绝缘壳体的电感线圈；所述绝缘壳体具有与样品台外部连通的开口，所述电感线圈的输出引线穿过所述开口并与样品台外部的射频电源连接。本发明可以在样品沉积前直接对样品表面进行清洗，去除污染，无需取出再清洗，样品薄膜沉积效果更佳，避免造成二次污染。此外，相对于样品架加负偏压的方案，本发明采用电感线圈激发产生的电感耦合等离子体密度更高，且该等离子体主要聚集在样品上方，对样品清洗效果更佳。