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公开(公告)号：CN114318265A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111646259.X
申请日：2021-12-29
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明的一种可快速更换靶材的磁控溅射阴极及更换靶材方法，包括靶材安装座及靶材位于烟囱压紧装置和磁箍冷却组件之间，烟囱压紧装置安装在腔体安装法兰上，磁箍冷却组件穿过腔体安装法兰与伸缩驱动机构连接，伸缩驱动机构另一端安装在腔体安装法兰上。更换靶材时，伸缩驱动机构驱动下，磁箍冷却组件下移，利用磁控溅射设备自带的传样系统抓取靶材安装座边上的支耳，从阴极屏蔽罩侧边取出靶材安装座及其中的靶材后送至传样系统的腔室内；再利用传样系统将腔室内的新靶材安装座及靶材送到原磁箍冷却组件正上方，使烟囱压紧装置压住靶材安装座。该发明在不破坏主真空腔真空环境下，实现快速换靶，大幅降低更换靶材的时间，也减少了主真空腔的污染。
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公开(公告)号：CN113291724A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110516941.0
申请日：2021-05-12
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明公开了一种超高真空电动样品传样杆，设置在取样腔内，包括传样杆本体，所述传样杆本体包括主传样杆、可拆卸固定在主传样杆端部的样品托、固定在主传样杆两侧的限位架；所述主传样杆底部设置有从动机构，所述取样腔一侧设置有由取样腔外伸入取样腔内的主动机构，所述主动机构与从动机构连接；所述取样腔内设置有用于限位架穿过的限位件，所述限位件与限位架滑动连接。在主传样杆移动过程中，限位件限制限位架的运动轨迹，保证主传样杆直线传样至指定位点。通过主动机构带动从动机构运动实现传样杆的传样工作，相较于手动操控传样杆采用本方法操控更加稳定、误差也较小。
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公开(公告)号：CN114324083B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202210011693.9
申请日：2022-01-06
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明涉及在线测试装置，具体涉及一种纳米团簇束流综合沉积在线测试系统，包括测试腔和第一取样腔，第一取样腔上设有沉积腔接口，第一取样腔内部转动连接有衬底座，第一取样腔上连通有纵向取样座、横向取样座，纵向取样座上设有第二取样腔，测试腔内部设有测试机构，纵向取样座、横向取样座内部均设有传样机构，测试机构包括固定于测试腔内部的第一安装座、第二安装座、第三安装座和反射镜，固定于第一安装座上的激光发射器、第一透镜组，固定于第二安装座上的第二透镜组，以及固定于第三安装座上的CCD传感器；本发明提供的技术方案能够有效克服无法有效将样品送入处于真空状态测试腔中的缺陷。
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公开(公告)号：CN116377412A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310388005.5
申请日：2023-04-12
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明涉及团簇束流发生源，具体涉及一种纳米团簇束流发生源及其使用方法，包括团簇腔，团簇腔内部设有冷凝腔，冷凝腔端部设有可调喷嘴，团簇腔端部与可调喷嘴相对处固定有安装座，安装座上固定有分离器、束流板，可调喷嘴包括转动连接于冷凝腔端部的转动环，设于转动环内部且与冷凝腔固定的圆盘，以及开设于圆盘上的喷孔，圆盘、转动环上设有用于调节喷孔孔径的调节机构，调节机构包括调节片，与圆盘固定且与调节片转动连接的第一连接柱，以及与转动环固定且与调节片转动连接的第二连接柱；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的无法有效控制团簇的尺寸大小、不便对分离器上的堆积物进行清洁的缺陷。
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公开(公告)号：CN114324083A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202210011693.9
申请日：2022-01-06
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明涉及在线测试装置，具体涉及一种纳米团簇束流综合沉积在线测试系统，包括测试腔和取样腔，取样腔上设有沉积腔接口，取样腔内部转动连接有衬底座，取样腔上连通有纵向取样座、横向取样座，纵向取样座上设有取样腔，测试腔内部设有测试机构，纵向取样座、横向取样座内部均设有传样机构，测试机构包括固定于测试腔内部的第一安装座、第二安装座、第三安装座和反射镜，固定于第一安装座上的激光发射器、第一透镜组，固定于第二安装座上的第二透镜组，以及固定于第三安装座上的CCD传感器，第一透镜组、第二透镜组、反射镜形成光路并入射至CCD传感器；本发明提供的技术方案能够有效克服无法有效将样品送入处于真空状态测试腔中的缺陷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113699493B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202111003983.0
申请日：2021-08-30
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明公开了一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备，包括中心溅射靶枪和侧溅射靶枪，所述中心溅射靶枪连接有驱动其旋转的驱动机构；所述中心溅射靶枪上固定套设有中心齿轮，所述中心齿轮啮合有行星齿轮，所述行星齿轮啮合有内齿圆；所述行星齿轮的中部套设有套筒，所述套筒采用圆管型结构。本发明通过设置中心齿轮，中心齿轮啮合有行星齿轮，行星齿轮啮合有内齿圆，中心齿轮转动后会带动行星齿轮沿着内齿圆圆周运动，从而实现侧溅射靶枪圆周溅射与中心溅射靶枪的溅射外圈重合。本发明通过设置溅射靶调节机构，通过带动齿条与齿轮的啮合实现套筒内侧溅射靶枪的偏转，但不宜偏转较大，否则容易造成溅射局部不均匀。
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公开(公告)号：CN114059014A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111170284.5
申请日：2021-10-08
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明公开了一种具有电感耦合放电清洗功能的样品台，包括样品架，所述样品架下方设有等离子体源机构，所述等离子体源机构包括绝缘壳体、容纳于所述绝缘壳体的电感线圈；所述绝缘壳体具有与样品台外部连通的开口，所述电感线圈的输出引线穿过所述开口并与样品台外部的射频电源连接。本发明可以在样品沉积前直接对样品表面进行清洗，去除污染，无需取出再清洗，样品薄膜沉积效果更佳，避免造成二次污染。此外，相对于样品架加负偏压的方案，本发明采用电感线圈激发产生的电感耦合等离子体密度更高，且该等离子体主要聚集在样品上方，对样品清洗效果更佳。
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公开(公告)号：CN113699493A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111003983.0
申请日：2021-08-30
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明公开了一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备，包括中心溅射靶枪和侧溅射靶枪，所述中心溅射靶枪连接有驱动其旋转的驱动机构；所述中心溅射靶枪上固定套设有中心齿轮，所述中心齿轮啮合有行星齿轮，所述行星齿轮啮合有内齿圆；所述行星齿轮的中部套设有套筒，所述套筒采用圆管型结构。本发明通过设置中心齿轮，中心齿轮啮合有行星齿轮，行星齿轮啮合有内齿圆，中心齿轮转动后会带动行星齿轮沿着内齿圆圆周运动，从而实现侧溅射靶枪圆周溅射与中心溅射靶枪的溅射外圈重合。本发明通过设置溅射靶调节机构，通过带动齿条与齿轮的啮合实现套筒内侧溅射靶枪的偏转，但不宜偏转较大，否则容易造成溅射局部不均匀。
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公开(公告)号：CN113584449A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110872823.3
申请日：2021-07-30
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明的一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极，包括靶材、磁体、磁轭及靶座，还包括运动机构；靶材安装在靶座上方，磁体安装在磁轭上，位于靶座下方，磁体与阴极中轴偏心安装，即磁体中心与阴极中轴不重合；运动机构设置在磁轭的下方，磁轭连接到运动机构上，运动机构牵引磁轭从而带动磁体绕阴极中轴螺旋式周期旋转运动，旋转半径逐渐增大。本发明的磁体及磁轭通过运动机构实现螺旋式周期运动，靶材表面磁场同步螺旋式周期运动，靶材被均匀刻蚀，利用率大幅提高。
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公开(公告)号：CN116709625A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310709552.9
申请日：2023-06-14
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种高效电子回旋共振等离子体发生装置，具体涉及等离子体技术领域，包括微波源、过渡结构、真空腔体和磁场系统，所述过渡结构的两端分别与微波源和真空腔体固定连接；所述过渡结构包括：波导、L型内导体、天线、真空法兰和绝缘件；所述波导的一端与微波源连接，所述波导的另一端与真空法兰连接，所述真空法兰的另一侧与真空腔体连接，所述L型内导体的一端与波导的内壁连接，所述L型内导体的另一端与天线连接；所述磁场系统套在真空腔体上。本发明通过优化设计微波传输，降低驻波，提高微波能量传输效率，使微波能量高效馈入至真空腔体内的等离子体；将石英玻璃罩换成真空法兰，提高真空腔体的真空度。
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