本发明的课题在于改善衬底的表面周缘部上的图案倒塌。本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置，该衬底处理方法的特征在于，具备：第1升华工序，向衬底的表面中央部喷出第1气体并使第1气体经由整个凝固体流通至衬底周边而使整个凝固体升华；及第2升华工序，向衬底的表面周缘部喷出第2气体并使第2气体经由凝固体中表面周缘部上的周缘区域流通至衬底周边而使周缘区域升华；且第2升华工序的开始早于第1升华工序，及/或第2气体的流量多于第1气体的流量。