Invention Grant
- Patent Title: 一种界面优化的AlGaInP/AlGaAs非对称半导体激光器件及其制备方法
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Application No.: CN202010830030.0Application Date: 2020-08-18
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Publication No.: CN114079229BPublication Date: 2024-01-16
- Inventor: 刘飞 , 朱振 , 张新 , 赵凯迪
- Applicant: 山东华光光电子股份有限公司
- Applicant Address: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- Assignee: 山东华光光电子股份有限公司
- Current Assignee: 山东华光光电子股份有限公司
- Current Assignee Address: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- Agency: 济南金迪知识产权代理有限公司
- Agent 王素平
- Main IPC: H01S5/34
- IPC: H01S5/34 ; H01S5/20 ; H01S5/343

Abstract:
本发明涉及一种界面优化的AlGaInP/AlGaAs非对称半导体激光器件及其制备方法。所述器件由下至上包括衬底、GaAs过渡层、GaAsP下过渡层、AlGaInP下限制层、下波导层、有源区、上波导层、GaAsP上过渡层、AlGaAs上限制层、AlGaAs带隙过渡层和GaAs帽层。本发明还提供所述半导体激光器件的制备方法。本发明通过在AlGaInP材料界面生长GaAsP过渡层,建立组分可控的过渡层材料,减少As/P气体切换引入的应力和缺陷,提高界面生长质量;实现AlGaInP/AlGaAs非对称半导体激光器件的高电光转换效率及工作稳定性。
Public/Granted literature
- CN114079229A 一种界面优化的AlGaInP/AlGaAs非对称半导体激光器件及其制备方法 Public/Granted day:2022-02-22
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