发明授权
- 专利标题： 用于抑制钨蚀刻的组合物和方法
-
申请号： CN202080049447.1申请日： 2020-08-04
-
公开(公告)号： CN114080437B公开(公告)日： 2023-10-27
- 发明人: M·劳特尔 , H·O·格文茨 , 魏得育 , C·H·赵
- 申请人： 巴斯夫欧洲公司
- 申请人地址： 德国莱茵河畔路德维希港
- 专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人地址： 德国莱茵河畔路德维希港
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 张双双; 刘金辉
- 国际申请： PCT/EP2020/071890 2020.08.04
- 国际公布： WO2021/028264 EN 2021.02.18
- 进入国家日期： 2022-01-06
- 主分类号： C11D1/66
- IPC分类号： C11D1/66 ; C09G1/02
摘要：
本发明涉及用于抑制蚀刻的组合物和方法。特别地，本发明涉及用于抑制钨蚀刻的组合物和方法。
公开/授权文献
- CN114080437A 用于抑制钨蚀刻的组合物和方法 公开/授权日：2022-02-22
