发明授权
- 专利标题: 一种无醇型两亲性制绒添加剂及其制备方法
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申请号: CN202111429620.3申请日: 2021-11-29
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公开(公告)号: CN114086259B公开(公告)日: 2023-01-13
- 发明人: 侯军 , 张洁
- 申请人: 浙江奥首材料科技有限公司(CN)
- 申请人地址: 浙江省衢州市杜鹃路36号
- 专利权人: 浙江奥首材料科技有限公司(CN)
- 当前专利权人: 浙江奥首材料科技有限公司(CN)
- 当前专利权人地址: 浙江省衢州市杜鹃路36号
- 代理机构: 大连星海专利事务所有限公司
- 代理商 杨翠翠
- 主分类号: C30B33/10
- IPC分类号: C30B33/10 ; C30B29/06 ; H01L31/0236 ; H01L31/18
摘要:
一种无醇型两亲性制绒添加剂及其制备方法,其属于单晶硅表面处理的技术领域。该添加剂包括多糖、表面活性剂和无机碱,但是不含有醇类,是无醇型的两亲性制绒添加剂。多糖吸附于单晶硅表面,在溶液中可有效降低表面张力,吸附在硅片表面作为腐蚀反应的起始点,为制绒腐蚀提供成核位点。多糖吸附于硅片表面,帮助制绒过程中产生的氢气及时脱离硅片表面,避免“漂片”或产生气泡印进而导致制绒不均匀。表面活性剂通过与多糖缔合解决多糖的高温析出问题,得到兼具良好吸附性与溶液稳定性的添加剂。该添加剂辅助硅片表面金字塔的生长,增强各向异性腐蚀的各向异性因子,在硅表面形成良好的陷光结构,增大光在硅表面的光程,减低硅片反射率。
公开/授权文献
- CN114086259A 一种无醇型两亲性制绒添加剂及其制备方法 公开/授权日:2022-02-25
IPC分类: