一种无醇型两亲性制绒添加剂及其制备方法
摘要:
一种无醇型两亲性制绒添加剂及其制备方法,其属于单晶硅表面处理的技术领域。该添加剂包括多糖、表面活性剂和无机碱,但是不含有醇类,是无醇型的两亲性制绒添加剂。多糖吸附于单晶硅表面,在溶液中可有效降低表面张力,吸附在硅片表面作为腐蚀反应的起始点,为制绒腐蚀提供成核位点。多糖吸附于硅片表面,帮助制绒过程中产生的氢气及时脱离硅片表面,避免“漂片”或产生气泡印进而导致制绒不均匀。表面活性剂通过与多糖缔合解决多糖的高温析出问题,得到兼具良好吸附性与溶液稳定性的添加剂。该添加剂辅助硅片表面金字塔的生长,增强各向异性腐蚀的各向异性因子,在硅表面形成良好的陷光结构,增大光在硅表面的光程,减低硅片反射率。
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