公开(公告)号：CN115595217A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211219099.5

申请日：2022-10-08

申请人： 浙江奥首材料科技有限公司(CN)

发明人： 侯军 ,  申海艳 ,  吕晶 ,  任浩楠

IPC分类号： C11D7/32 ,  C11D7/50 ,  C11D7/60 ,  G03F7/42

摘要： 本发明提供一种含羟胺的稳定溶液、含羟胺的半导体清洗液、其制备方法及用途。所述含羟胺的稳定溶液包括重量配比如下的各组分：羟胺及其衍生物5‑30份；螯合剂1‑5份；葫芦脲及其衍生物5‑20份。本发明通过葫芦脲及其衍生物对羟胺分子进行包结，避免羟胺分子与金属离子及酸碱性介质的直接接触；使用螯合剂对金属离子进行络合，确保从葫芦脲及其衍生物中释放的羟胺分子不会受到金属离子的催化而发生分解。本发明还公开了一种含羟胺的半导体清洗液，包括含羟胺的稳定溶液、碱、水溶性有机溶剂和超纯水。本发明含羟胺的半导体清洗液既可避免羟胺由于金属离子催化导致的分解，又可防止因高温及碱性导致的羟胺分解，能广泛应用于半导体清洗。

公开(公告)号：CN114086259B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202111429620.3

申请日：2021-11-29

申请人： 浙江奥首材料科技有限公司(CN)

发明人： 侯军 ,  张洁

IPC分类号： C30B33/10 ,  C30B29/06 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

摘要： 一种无醇型两亲性制绒添加剂及其制备方法，其属于单晶硅表面处理的技术领域。该添加剂包括多糖、表面活性剂和无机碱，但是不含有醇类，是无醇型的两亲性制绒添加剂。多糖吸附于单晶硅表面，在溶液中可有效降低表面张力，吸附在硅片表面作为腐蚀反应的起始点，为制绒腐蚀提供成核位点。多糖吸附于硅片表面，帮助制绒过程中产生的氢气及时脱离硅片表面，避免“漂片”或产生气泡印进而导致制绒不均匀。表面活性剂通过与多糖缔合解决多糖的高温析出问题，得到兼具良好吸附性与溶液稳定性的添加剂。该添加剂辅助硅片表面金字塔的生长，增强各向异性腐蚀的各向异性因子，在硅表面形成良好的陷光结构，增大光在硅表面的光程，减低硅片反射率。

公开(公告)号：CN114149768B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202111238937.9

申请日：2021-10-25

申请人： 浙江奥首材料科技有限公司(CN)

发明人： 侯军 ,  李传强

IPC分类号： C09J123/08 ,  C09J175/04 ,  C09J11/08 ,  C09J11/06 ,  C09J11/04 ,  H01L21/683

摘要： 本发明提供一种用于晶圆加工的临时键合胶、其制备方法及用途。本发明用于晶圆加工的临时键合胶包括质量份如下的各组分：聚合树脂0.1‑5份、增粘树脂20‑50份、增强剂1‑5份、增塑剂1‑5份、高沸点溶剂10‑50份、低沸点溶剂10‑30份、润湿剂0.5‑5份、抗氧化剂0.1‑0.5份。本发明还公开了所述用于晶圆加工的临时键合胶的制备方法及用途。本发明用于晶圆加工的临时键合胶是一种热稳定性高、抗化学腐蚀强、粘结力强、粘片均匀的临时键合胶，能广泛适用于晶圆加工。