本发明提供了一种控制COD浓度的含氟蚀刻废液处理方法，其可有效控制处理工艺过程中进入蒸发器的待处理含氟蚀刻废液COD浓度，保证回收产品的品质、提高含氟蚀刻废液处理工艺的安全性和稳定性；其包括以下步骤，S1：在反应釜中对含氟蚀刻废液进行预处理，然后进入三效蒸发器进行蒸发，得到氟化氢铵浓缩液；S2：氟化氢铵浓缩液经冷却后进入离心机；S3：离心分离得到的氟化氢铵结晶进入干燥设备干燥，得到氟化氢铵；S4：离心分离得到的氟化氢铵母液进入树脂吸附塔进行吸附，得到氟化氢铵净化液，然后与含氟蚀刻废液按照一定流量比回用进入反应釜。