本发明公开了一种有机锡‑无机锡杂化Sn18型晶态锡氧簇合物及其制备方法，属于无机化学领域。采用取代苯甲酸、苯基膦酸、SnCl4·5H2O和丁基锡酸为原料，以乙腈、异丙醇和水为混合溶剂，在100℃下通过自组装反应，制备出三例有机锡‑无机锡杂化Sn18型晶态锡氧簇合物。本发明材料具有精确结构信息、高度疏水性和良好稳定性，有望作为一种新型的锡氧簇材料用于EUV光刻技术中光刻胶的制备。且其原料易得，制备方法简单，产率高，可实现低成本、高效益。