本发明涉及一种紧凑型半模基片集成波导平衡滤波器，包括半模基片集成波导、金属盲孔阵列和人工表面等离激元结构。金属盲孔阵列和人工表面等离激元结构均位于半模基片集成波导的介质基板中，金属盲孔阵列位于由金属过孔所围成的空间内，人工表面等离激元结构位于金属盲孔阵列上方。本发明通过在半模基片集成波导中引入金属盲孔阵列，并将人工表面等离激元结构刻蚀在金属盲孔阵列上方，实现了对半模基片集成波导慢波特性的调控，解决半模基片集成波导平衡滤波器体积过大、微波电路集成时紧凑度不高、带外特性较差的问题，实现平衡滤波器结构的小型化与良好的带外抑制特性。