本发明公开一种氯硅烷在线检测装置以及使用该氯硅烷在线检测装置的检测氯硅烷中二氯二氢硅的方法，氯硅烷在线检测装置包括进料单元与检测单元，进料单元包括样品管道、第一管道、第一连通阀、第二连通阀，样品管道的输入端与氯硅烷的工艺管线连通，样品管道的输出端接入第一连通阀的第一接口，第一管道的两端分别接入第一连通阀的第二接口和第二连通阀的第二接口，检测单元包括第二管道、色谱检测阀、闪蒸箱，第二管道的输入端接入第二连通阀的第一接口，闪蒸箱设于第二管道上，色谱检测阀设于第二管道上并处于闪蒸箱的下游，用于对汽化后的氯硅烷样品进行检测。该氯硅烷在线检测装置能够实时在线检测氯硅烷样品。