剔除坏点及自对准喷印的μLED全彩显示制造方法与设备
摘要:
本发明属于半导体相关技术领域,其公开了一种剔除坏点及自对准喷印的μLED全彩显示制造方法与设备,该方法包括以下步骤:(1)将微型发光二极管(即μLED)阵列巨量转移到目标基板上且坏点未被转移;(2)电流体喷印头与单个微型发光二极管之间形成电场,并向对应的微型发光二极管喷印对应颜色的量子点溶液,进而实现微型发光二极管的全彩显示。本发明通过接通驱动电路使得UV‑μLED充当释放胶层的作用源从而实现转移,而未接通的坏点由于未产生紫外而将存留在胶层上,实现剔除坏点功能;同时,电流体喷印设备的喷头与单个芯片电极之间形成电场以实现自对准,解决了现有技术中巨量转移工艺复杂及全彩化像素分辨率限制、像素对准困难的问题。
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