存储器及其制造方法
Abstract:
本申请提供一种存储器及其制造方法,所述制造方法包括:提供衬底;在所述衬底中形成沿第一方向延伸的若干相互平行的第一隔离结构;所述第一方向平行于所述衬底表面;所述第一隔离结构的第一厚度小于所述衬底的厚度;在所述衬底中形成沿第二方向延伸的若干相互平行的第一沟槽;所述第二方向平行于所述衬底表面且与所述第一方向垂直;所述第一沟槽与所述第一隔离结构将所述衬底划分为多个沟道柱;在所述第一沟槽内形成字线结构和第二隔离结构;其中,所述字线结构和所述第二隔离结构并列排布,且沿所述第一沟槽的侧壁延伸;在所述字线结构相邻的所述沟道柱的表面形成存储结构。
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