一种激光干涉位移测量系统及方法
摘要:
本发明公开了一种激光干涉位移测量系统和方法,利用光纤跳线的出射端面和被测物表面构成开放式法布里珀罗腔,将激光光束在光纤跳线的出射端面与空气端面发生后向菲涅尔反射的部分作为参考光,将透射至被测物表面并反射耦合进光纤跳线的部分作为测量光,使参考光与测量光在光纤跳线内部发生干涉。当被测物发生位移时,法布里珀罗腔的腔长发生相应改变,相当于改变了测量光和参考光之间的光程差,从而导致测量光和参考光的相位差发生变化,最终影响二者的干涉信号,通过干涉信号调理模块和信号解调模块对干涉信号进行处理,计算得到被测物的位移量,从而实现了对位移的非接触、高精度测量。
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