本发明公开了三维扫描及验证的实时加工路径生成工艺，包括以下过程：首先由第一面阵扫描相机扫描并获取待加工工件表面的面阵式模型数据信息A形成初始加工路径规划路段；其次在形成初始加工路径规划路段的同步过程中，由扫描振镜、合束镜片及第二面阵扫描相机实时数据采集中获取工件表面的面阵式模型数据信息B，其中由模型数据信息B和A进行比对和验证以消除偏差，并形成实时消除偏差路径规划路段；最后在同步实施初始加工路径规划路段和实时消除偏差路径规划路段的基础上，形成实时加工路径规划路段。本发明不仅能够大幅度缩短数据处理时间、也降低数据处理需要的硬件和软件的造价，而且在消除偏差的模式下，能够准确的实施3D激光加工。