本公开涉及故障检测处理技术领域，公开一种机器人系统故障检测处理方法。机器人系统包括控制装置、至少一个驱动装置以及执行臂，至少一个驱动装置基于控制装置发出的驱动信号，驱动执行臂。该方法包括：确定执行臂的末端的目标位姿；获取定位图像；在定位图像中，识别位于执行臂的末端上的多个标识，多个标识包括多个用于标识位姿的位姿标识和至少一个用于标识位姿和角度的复合标识；基于至少一个复合标识和多个位姿标识，确定执行臂的末端的实际位姿；基于目标位姿与实际位姿满足误差条件，使机器人系统进入安全模式；以及确定机器人系统的故障状况。