一种上升速率法真空计校准装置及方法
摘要:
本申请涉及真空计校准技术领域,具体而言,涉及一种上升速率法真空计校准装置及方法,所述装置包括气瓶、充气室、一级校准室、二级校准室以及真空泵组,其中:气瓶通过管道与充气室连接;充气室通过管道和第一流导元件与一级校准室连接;一级校准室通过管道和第二流导元件与二级校准室连接;真空泵组通过管道分别与充气室、一级校准室以及二级校准室连接。本申请可实现真空计时域范围内不间断的连续校准,提供了更加完整的计量特性表征方式;避免了已有真空校准装置所用方法对前级压力、真空室容积、管路流导等参数绝对值的测量,减小了校准结果的测量不确定度。
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