发明授权
- 专利标题: 一种上升速率法真空计校准装置及方法
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申请号: CN202111557939.4申请日: 2021-12-17
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公开(公告)号: CN114354062B公开(公告)日: 2024-04-09
- 发明人: 习振华 , 郭美如 , 贾文杰 , 范栋 , 李刚 , 张虎忠 , 任正宜
- 申请人: 兰州空间技术物理研究所
- 申请人地址: 甘肃省兰州市城关区渭源路97号
- 专利权人: 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人: 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 甘肃省兰州市城关区渭源路97号
- 代理机构: 北京元理果知识产权代理事务所
- 代理商 饶小平
- 主分类号: G01L27/00
- IPC分类号: G01L27/00 ; G01L21/00
摘要:
本申请涉及真空计校准技术领域,具体而言,涉及一种上升速率法真空计校准装置及方法,所述装置包括气瓶、充气室、一级校准室、二级校准室以及真空泵组,其中:气瓶通过管道与充气室连接;充气室通过管道和第一流导元件与一级校准室连接;一级校准室通过管道和第二流导元件与二级校准室连接;真空泵组通过管道分别与充气室、一级校准室以及二级校准室连接。本申请可实现真空计时域范围内不间断的连续校准,提供了更加完整的计量特性表征方式;避免了已有真空校准装置所用方法对前级压力、真空室容积、管路流导等参数绝对值的测量,减小了校准结果的测量不确定度。
公开/授权文献
- CN114354062A 一种上升速率法真空计校准装置及方法 公开/授权日:2022-04-15