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公开(公告)号：CN118549033A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202411012083.6
申请日：2024-07-26
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01L21/30
摘要： 本申请涉及真空压力测量技术领域，具体而言，涉及一种基于碳纳米管电子源的圆柱型电离真空计，包括套筒壳体、碳纳米管电子源、外圆柱、内圆柱、离子收集极、偏转极以及电子收集极，套筒壳体为圆筒型，外圆柱设置在碳纳米管电子源的外侧，内圆柱设置在碳纳米管电子源的内侧，在外圆柱的内侧与内圆柱的外侧之间形成环形电子束运动区域；偏转极用于使电子束偏转进入内圆柱的内侧区域；离子收集极设置在外圆柱的外侧，用于离子的径向引出；电子收集极设置在内圆柱的内侧，用于收集电子。本申请通过控制电子轨迹和能量来提高测量的稳定性，通过抑制各种非线性机制的影响来提高测量的准确性。
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公开(公告)号：CN118164064A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410381497.X
申请日：2024-03-31
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本申请涉及一种磁悬浮转子真空计传感器贮存运输防护装置及方法，包括：支撑杆、金属构件、底座、密封板、螺杆、防护装置壳体、第一法兰、第二法兰。本申请所述的一种磁悬浮转子真空计传感器贮存运输防护装置及方法，可以实现磁悬浮转子真空计传感器非振动、无碰撞的运输及贮存，避免了因外部因素而导致的计量特性减弱问题；此外，还避免了磁悬浮转子真空计传感器及转子暴露于大气环境下，保持了其溯源及传递过程中计量特性的一致性，提高了真空量值的准确性。
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公开(公告)号：CN118010597B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410419353.9
申请日：2024-04-09
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01N15/08
摘要： 本申请涉及一种量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置及方法，包括：第一微调真空阀、电容薄膜真空计、充气室、第二微调真空阀、磁悬浮转子真空计、测试室A、第一真空阀门、测试室B、四极质谱计、氦气瓶、第二真空阀门、第一真空抽气机组、第三真空阀门、被测玻璃材料、第四真空阀门、KF接口、第二真空抽气机组。本申请实施例利用磁悬浮转子真空计良好的稳定性，对测试用氦气分压力测量质谱计进行在线校准，解决了质谱计因稳定性、重复性差等非理想因素而导致的氦分压测量偏差过大问题，有效减小了量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测量的不确定度。
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公开(公告)号：CN116608988B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202310648235.0
申请日：2023-06-02
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种多感压膜绝压MEMS电容薄膜真空规，包括基底玻璃、基底硅、感压薄膜以及上盖玻璃，其中：基底硅设置在基底玻璃与上盖玻璃之间；感压薄膜设置在基底硅上，感压薄膜的下方空间与基底玻璃之间形成测量腔体，感压薄膜的上方空间与上盖玻璃之间形成参考腔体；测量腔体内设置有敏感电容电极和信号引出电极；参考腔体内设置有硅块和吸气剂膜。本申请能够实现10‑2Pa至104Pa范围绝对真空度的测量，测量准确度高、灵敏度高、输出的重复性和长期稳定性好，同时具有体积小、重量轻、功耗低、制作工艺与集成电路兼容，便于集成化批量生产的优点。
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公开(公告)号：CN117433758A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311229481.9
申请日：2023-09-22
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01M13/00
摘要： 本申请涉及测试仪器技术领域，具体而言，涉及一种测量刚性转子在稀薄气体中转速衰减率的方法，采用少量的数据通过一层层滚动的多通道采样实现数据的多次利用，进而实现高精度的衰减率计算，能够兼顾准确性和响应速度，解决了稀薄气体中刚性转子转速衰减率计算方法的准确性与快速性矛盾较为突出的问题。在气体稀薄程度较低时，侧重反应速度，精度无损失；在气体稀薄程度较高时，侧重测量精度，同时还拥有比传统计算方法更快的反应速度与响应速度。
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公开(公告)号：CN116608988A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310648235.0
申请日：2023-06-02
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种多感压膜绝压MEMS电容薄膜真空规，包括基底玻璃、基底硅、感压薄膜以及上盖玻璃，其中：基底硅设置在基底玻璃与上盖玻璃之间；感压薄膜设置在基底硅上，感压薄膜的下方空间与基底玻璃之间形成测量腔体，感压薄膜的上方空间与上盖玻璃之间形成参考腔体；测量腔体内设置有敏感电容电极和信号引出电极；参考腔体内设置有硅块和吸气剂膜。本申请能够实现10‑2Pa至104Pa范围绝对真空度的测量，测量准确度高、灵敏度高、输出的重复性和长期稳定性好，同时具有体积小、重量轻、功耗低、制作工艺与集成电路兼容，便于集成化批量生产的优点。
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公开(公告)号：CN118549033B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202411012083.6
申请日：2024-07-26
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01L21/30
摘要： 本申请涉及真空压力测量技术领域，具体而言，涉及一种基于碳纳米管电子源的圆柱型电离真空计，包括套筒壳体、碳纳米管电子源、外圆柱、内圆柱、离子收集极、偏转极以及电子收集极，套筒壳体为圆筒型，外圆柱设置在碳纳米管电子源的外侧，内圆柱设置在碳纳米管电子源的内侧，在外圆柱的内侧与内圆柱的外侧之间形成环形电子束运动区域；偏转极用于使电子束偏转进入内圆柱的内侧区域；离子收集极设置在外圆柱的外侧，用于离子的径向引出；电子收集极设置在内圆柱的内侧，用于收集电子。本申请通过控制电子轨迹和能量来提高测量的稳定性，通过抑制各种非线性机制的影响来提高测量的准确性。
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公开(公告)号：CN115839795B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202211670229.7
申请日：2022-12-25
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01L21/30
摘要： 一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计，包括依次连接的阴极、引出极、聚集系统、电离室、电子收集极以及偏转极，其中：阴极作为场发射电子源，选用生长在不锈钢衬底上的碳纳米管阵列；引出极是中心为栅网的孔板结构；聚集系统包括依次连接的第一透镜、聚集极以及第二透镜；电离室的内部设置有离子收集极；阴极、引出极以及聚集系统设置在电离室的前端，电子收集极以及偏转极设置在电离室的后端。本申请通过控制电子的运动轨迹，实现了电离真空计灵敏度的稳定可靠，通过结构设计实现了电子和离子的空间分离，抑制了电子撞击电子收集极产生的二次电子和X射线对测量的影响。
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公开(公告)号：CN116818878A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310602024.3
申请日：2023-05-25
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01N27/62
摘要： 本发明公开了一种基于NEG泵的宽动态范围质谱测量装置及方法。本发明利用非蒸散性吸气剂泵(NEG泵)的选择性抽气特性和限流阀的可调节分子流导特性，结合混合气体测量时先吸附后激活脱附的手段，将质谱计测量混合气体的动态范围特性至少提升1个数量级以上，进而提升质谱计测量混合气体的灵敏度，实现混合气体质谱精准定性、定量分析与测量。
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公开(公告)号：CN114509490A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202111594705.7
申请日：2021-12-24
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01N27/62
摘要： 本发明公开了一种基于谱图迭代解析的超高/极高真空系统质谱测量方法。本发明对质谱直接测量结果进行二次数据分析处理，利用谱图的迭代解析对质谱原始测量数据进行整合处理，提取淹没在噪声中的有用微小信号，实现质谱图精准定性、定量分析，可大幅提升质谱分析仪器的动态范围特性，实现混合气体极小真空分压力痕量气体组分的定性、定量精确分析测量。
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