本发明公开了一种低介电常数硅酸盐微波介质陶瓷及其制备方法，该陶瓷的化学表达式为Ca1‑x‑y/2AxMg1‑y/2BySi3O9‑zBa5Si8O21，其中A=Sr、Ba；B=Zn、Co、Mn；0.02≤x≤0.10；0.10≤y≤0.50；0.30≤z≤0.50。该陶瓷材料制备工艺依次如下：合成Ca1‑x‑y/2AxMg1‑y/2BySi3O9粉体、合成Ba5Si8O21粉体、复合粉末配制、球磨、DCS快速烧结成瓷。本发明一方面通过微量Sr离子取代提高CaMgSi3O9晶相的Qf值，另一方面通过Zn或Co获Mn离子共取代A、B位调控CaMgSi3O9结构的层状结构，进而调控其Qf值和τf值。此外，本发明制备所得Ca1‑x‑y/2AxMg1‑y/2BySi3O9‑zBa5Si8O21陶瓷材料的介电常数为5.5~8.2，Qf值为28500~76450GHz，τf值在±15 ppm/℃以内，且制备工艺简单，制备周期短，工艺稳定好，抗还原特性好，可耐还原气氛烧结而使用贱金属内电极，适合制造温度补偿型MLCC电容器。