发明公开
- 专利标题： 一种晶棒槽晶向测量仪和测量方法
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申请号： CN202210186628.X申请日： 2022-02-28
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公开(公告)号： CN114414602A公开(公告)日： 2022-04-29
- 发明人: 甄茹葶 , 甄伟
- 申请人： 丹东奇伟企业管理咨询有限公司
- 申请人地址： 辽宁省丹东市振五街63-5号
- 专利权人： 丹东奇伟企业管理咨询有限公司
- 当前专利权人： 丹东新东方晶体仪器有限公司
- 当前专利权人地址： 118000 辽宁省丹东市高新技术产业开发区A-050号
- 代理机构： 上海市锦天城律师事务所
- 代理商 汪妍瑜
- 主分类号： G01N23/207
- IPC分类号： G01N23/207
摘要：
本发明提供一种晶体槽晶向测量仪和测量方法，其中晶棒槽晶向测量仪器包含载物机构、晶向测量机构、测角仪、槽深测量机构，所述载物机构能够承载晶棒并带动晶棒旋转，所述测角仪能够测量晶棒旋转角度，所述槽深测量机构能够测量所述晶棒的槽深，所述晶向测量机构能够测量所述晶棒上指定点晶向。该晶体槽晶向测量仪能够自动化测量槽任意底部端点的晶向，测量效率和测量精度高。
公开/授权文献
- CN114414602B 一种晶棒槽晶向测量仪和测量方法 公开/授权日：2024-04-26
