本发明公开了一种制备钙钛矿膜层的设备和方法、太阳能电池及制备方法，设备包括：共蒸发装置，包括共蒸发沉积腔室、连接共蒸发沉积腔室的进端的准备腔室、连接共蒸发沉积腔室的出端的第一出片腔室，准备腔室和第一出片腔室可抽真空且可导通或封闭，共蒸发沉积腔室可抽真空，共蒸发沉积腔室内设有蒸发源；加热退火装置，包括控温腔室、连接控温腔室的出端的第二出片腔室，控温腔室内的温度可调，控温腔室与第一出片腔室相连，第二出片腔室可抽真空且可导通或封闭；传送装置，用于传送基片。本发明能实现连接真空共蒸发沉积钙钛矿膜，工艺流程简单，可提高生产效率，实现连续生产，还可以在绒面基底以及具有一定粗糙度的基底上制备钙钛矿膜层。