制备钙钛矿膜层的系统和方法及其应用

    公开(公告)号:CN113471367B

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202110738058.6

    申请日:2021-06-30

    摘要: 本发明公开了制备钙钛矿膜层的系统和方法及其应用,所述系统包括:近空间升华设备、气相输送设备和基片退火设备,其中,所述近空间升华设备包括第一准备腔室、近空间升华腔室和第一出片腔室;所述气相输送设备包括第二准备腔室、气相反应腔室、第二出片腔室和气相输送腔室。采用该系统制备钙钛矿膜层不依赖基底的平整度,可在绒面基底上或具有较大粗糙度的基底上制备大面积均匀的钙钛矿膜层,同时采用该系统可以同时掺杂有机成分和无机成分,并且可以实现各组分含量的精确掺杂,钙钛矿膜层的晶体纯度高且形貌可控,从而显著提高钙钛矿太阳能电池的稳定性和电性能。

    一种钙钛矿太阳能电池及其制备方法

    公开(公告)号:CN115360299A

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN202210928891.1

    申请日:2022-08-03

    发明人: 李明洁 吴俊杰

    IPC分类号: H01L51/42 H01L51/44 H01L51/48

    摘要: 本发明提供一种钙钛矿太阳能电池及其制备方法,钙钛矿太阳能电池的制备方法包括:在衬底的一侧表面依次形成第一电极层和空穴传输层;在空穴传输层背离衬底的一侧表面形成MAI层;采用真空共蒸工艺在MAI层背离衬底的一侧表面沉积PbI2、CsX和FAI,得到钙钛矿中间层;对钙钛矿中间层进行退火,钙钛矿中间层形成本体钙钛矿层,MAI层形成过渡钙钛矿层。过渡钙钛矿层的形成使空穴的传输更加顺畅,提高了空穴的传输效率,进而提高了钙钛矿太阳能电池的光电转换效率。另一方面,通过真空共蒸工艺制备得到的主体钙钛矿层的上界面具有较少的缺陷,即使不对上界面进行钝化也能保证钙钛矿太阳能电池具有良好的光电性能,节省了制备工艺,有利于实现产业化。

    一种钙钛矿太阳能器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN114695674A

    公开(公告)日:2022-07-01

    申请号:CN202210320280.9

    申请日:2022-03-29

    IPC分类号: H01L51/44 H01L51/48

    摘要: 本发明属于太阳能电池领域,具体涉及一种提高钙钛矿太阳能器件稳定性的制备方法。本发明的钙钛矿太阳能器件采用透明导电氧化物作为背电极层与钙钛矿层之间在P2凹槽处的隔离层、以及背电极层与第二电荷传输层之间的隔离层,不仅阻隔了背电极和钙钛矿层,使二者不直接接触,还能有效避免背电极金属扩散至钙钛矿层中破坏钙钛矿晶格结构;并且每个组件中的钙钛矿层均不暴露在空气中,使得钙钛矿能够免受空气中水氧的侵蚀,从而提高了钙钛矿太阳能器件的稳定性。

    制备钙钛矿膜层的设备和方法、太阳能电池及制备方法

    公开(公告)号:CN114481032A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202111554742.5

    申请日:2021-12-17

    摘要: 本发明公开了一种制备钙钛矿膜层的设备和方法、太阳能电池及制备方法,设备包括:共蒸发装置,包括共蒸发沉积腔室、连接共蒸发沉积腔室的进端的准备腔室、连接共蒸发沉积腔室的出端的第一出片腔室,准备腔室和第一出片腔室可抽真空且可导通或封闭,共蒸发沉积腔室可抽真空,共蒸发沉积腔室内设有蒸发源;加热退火装置,包括控温腔室、连接控温腔室的出端的第二出片腔室,控温腔室内的温度可调,控温腔室与第一出片腔室相连,第二出片腔室可抽真空且可导通或封闭;传送装置,用于传送基片。本发明能实现连接真空共蒸发沉积钙钛矿膜,工艺流程简单,可提高生产效率,实现连续生产,还可以在绒面基底以及具有一定粗糙度的基底上制备钙钛矿膜层。

    制备钙钛矿吸收层的设备和方法及其应用

    公开(公告)号:CN113451516A

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202110725392.8

    申请日:2021-06-29

    摘要: 本发明公开了制备钙钛矿吸收层的设备和方法及其应用,制备钙钛矿吸收层的设备包括:无机腔室、沉积腔室和有机腔室,所述无机腔室上设有第一进气口和第一压力调节口,所述无机腔室内设有第一蒸发舟,所述第一蒸发舟上盛放无机前驱物;所述沉积腔室与所述无机腔室连通,所述沉积腔室与所述无机腔室的连接处设有第一阀门,所述沉积腔室内设有基底载台,所述基底载台上方设有可转动地挡板,所述基底载台的倾角可调,并且所述沉积腔室上设有排气口;所述有机腔室与所述沉积腔室连通,所述有机腔室与所述沉积腔室的连接处设有第二阀门,所述有机腔室上设有第二进气口和第二压力调节口,所述有机腔室内设有第二蒸发舟,所述第二蒸发舟上盛放有机前驱物。

    具有卷带式连续进料功能的钙钛矿膜制备系统和方法

    公开(公告)号:CN115747723A

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202211109613.X

    申请日:2022-09-13

    摘要: 本发明公开了一种具有卷带式连续进料功能的钙钛矿膜制备系统和方法。该系统包括卷带装置、喷涂装置、预风干装置、抽真空干燥装置和蒸镀装置,卷带装置包括辊轮和卷带,辊轮转动带动卷带循环转动,沿着卷带转动的方向,卷带上依次限定出喷涂区、预风干区、真空干燥区和蒸镀区,设在喷涂区的喷涂装置将前驱体溶液喷涂至卷带上形成湿膜,设在预风干区的预风干装置对进入风干区的湿膜进行预风干,设在真空干燥区的抽真空干燥装置将进入真空干燥区的预风干后湿膜干燥成干膜,设在蒸镀区的蒸镀装置将干膜升华沉积在基片上。该系统实现了将前驱体原料源源不断地运至蒸镀装置制备钙钛矿膜且前驱体原料更换容易,大大提高了设备的利用率和生产效率。

    两步制备钙钛矿薄膜的方法、其装置、制备方法及钙钛矿电池

    公开(公告)号:CN113921724A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111154811.3

    申请日:2021-09-29

    摘要: 本发明提供了一种两步制备钙钛矿薄膜的方法、其装置、制备方法及钙钛矿电池,所述的方法包括:在基底表面制备第一电荷传输层,采用近空间升华法或气相输运法在第一电荷传输层表面沉积无机前驱体层,随后在无机前驱体表面涂布有机前驱体溶液,经退火处理后,无机前驱体层和有机前驱体溶液反应形成钙钛矿薄膜。本发明制备钙钛矿薄膜可不依赖基底的平整度,可以在绒面基底上及具有一定较大粗糙度的基底上制备大面积且均匀的钙钛矿薄膜。

    一种钙钛矿膜层的制备方法、制备装置以及钙钛矿太阳能电池

    公开(公告)号:CN113644209A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202110919684.5

    申请日:2021-08-11

    IPC分类号: H01L51/48 H01L51/42

    摘要: 本发明提供了一种钙钛矿膜层的制备方法、制备装置以及钙钛矿太阳能电池,所述制备方法为一种采用近空间气相输运和近空间升华两步法制备钙钛矿膜层的方法,该制备方法利用近空间气相输运法在基底上先预制一层无机骨架层,再利用近空间升华法在无机骨架层上沉积有机组分,最后通过有机晶化过程形成钙钛矿膜层,在制备钙钛矿膜层时具有大面积均匀成膜、钙钛矿晶体纯度高且形貌可控、不依赖基底平整度等优点。

    制备钙钛矿膜层的系统和方法及其应用

    公开(公告)号:CN113471367A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202110738058.6

    申请日:2021-06-30

    摘要: 本发明公开了制备钙钛矿膜层的系统和方法及其应用,所述系统包括:近空间升华设备、气相输送设备和基片退火设备,其中,所述近空间升华设备包括第一准备腔室、近空间升华腔室和第一出片腔室;所述气相输送设备包括第二准备腔室、气相反应腔室、第二出片腔室和气相输送腔室。采用该系统制备钙钛矿膜层不依赖基底的平整度,可在绒面基底上或具有较大粗糙度的基底上制备大面积均匀的钙钛矿膜层,同时采用该系统可以同时掺杂有机成分和无机成分,并且可以实现各组分含量的精确掺杂,钙钛矿膜层的晶体纯度高且形貌可控,从而显著提高钙钛矿太阳能电池的稳定性和电性能。

    蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池

    公开(公告)号:CN114645250B

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202210307767.3

    申请日:2022-03-25

    IPC分类号: C23C14/24 C23C14/08

    摘要: 本发明提出了一种蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池,该蒸镀设备包括:第一腔体,所述第一腔体内设置有基片支架、抽真空系统以及取片机构;第二腔体,所述第二腔体内设置有蒸镀系统,所述蒸镀系统包括第一坩埚和第二坩埚,所述第一坩埚和所述第二坩埚的加热温度不同,以在所述基片上蒸镀不同材料形成电池片;隔离门,所述隔离门打开时所述第一腔体与所述第二腔体连通,所述取片机构用于传送基片和电池片。由此,上下料均在第一腔室内完成,缩短设备长度,能够实现不间断镀膜,节省成本;第二腔体可同时完成多种材料的蒸镀,使电池片在不破空的条件下完成全部功能层的制备。