Invention Grant

固晶机
Abstract:
本申请提供了一种固晶机,包括:传送单元,用于支撑并移送基板至固晶位;进料单元,用于供给基板;晶片供给单元,用于供给晶片;晶环供给单元,用于供给满晶环,并回收空晶环;转塔机构,用于将供晶位的晶片转送至取晶位;穿刺机构,用于向下刺破供晶位上晶片处的蓝膜,以将晶片推顶至转塔机构;以及,固晶机构。本申请提供的固晶机,可以实现基板的自动供给、定点移动;另外,可以实现晶环的自动供给与回收,并且穿刺机构向下刺破蓝膜,以将晶片剥离至转塔机构,并转移到取晶位,以供固晶机构使用,可以良好避免取晶失败,缩短固晶机构移动晶片的行程与时间,提升晶片移动的平稳性,提升固晶精度与固晶效率。
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