Invention Grant
- Patent Title: 固晶机
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Application No.: CN202111674090.9Application Date: 2021-12-31
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Publication No.: CN114496871BPublication Date: 2023-07-14
- Inventor: 黄岗 , 曾国鹏 , 严楚雄
- Applicant: 深圳新益昌科技股份有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
- Assignee: 深圳新益昌科技股份有限公司
- Current Assignee: 深圳新益昌科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
- Agency: 深圳中一联合知识产权代理有限公司
- Agent 徐汉华
- Main IPC: H01L21/677
- IPC: H01L21/677 ; H01L21/683 ; H01L21/67
Abstract:
本申请提供了一种固晶机,包括:传送单元,用于支撑并移送基板至固晶位;进料单元,用于供给基板;晶片供给单元,用于供给晶片;晶环供给单元,用于供给满晶环,并回收空晶环;转塔机构,用于将供晶位的晶片转送至取晶位;穿刺机构,用于向下刺破供晶位上晶片处的蓝膜,以将晶片推顶至转塔机构;以及,固晶机构。本申请提供的固晶机,可以实现基板的自动供给、定点移动;另外,可以实现晶环的自动供给与回收,并且穿刺机构向下刺破蓝膜,以将晶片剥离至转塔机构,并转移到取晶位,以供固晶机构使用,可以良好避免取晶失败,缩短固晶机构移动晶片的行程与时间,提升晶片移动的平稳性,提升固晶精度与固晶效率。
Public/Granted literature
- CN114496871A 固晶机 Public/Granted day:2022-05-13
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