本公开提供一种无源滤波器及其制备方法，属于射频器件技术领域。本公开提供一种无源滤波器，其包括：介质基板、至少一个电容以及至少一个电感。介质基板包括沿介质基板厚度方向设置的开槽，开槽的内壁包括第一部分，第一部分上至少部分点的切线的延伸方向与介质基板所在平面的延伸方向相交。电容包括背离所述介质基板方向依次设置的第一极板、第一层间介质层以及第二极板，电容的第一极板、电容的第二极板以及第一层间介质层在介质基板上的正投影重叠的部分，至少覆盖第一部分。