滤波器及其制作方法、电子设备
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117413359A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202280000935.2

    申请日:2022-04-27

    IPC分类号: H01L23/64

    摘要: 一种滤波器及其制作方法、电子设备,滤波器包括第一电感(L1),滤波器还包括:衬底基板(1)、多个导电柱(11)、第一导电层、第二导电层,衬底基板(1)的侧面上形成多个贯穿衬底基板的通孔(TGV);多个导电柱(11)与通孔(TGV)对应设置,导电柱(11)填充于与其对应的通孔(TGV)内,导电柱(11)用于形成第一电感(L1)线圈的部分结构;第一导电层位于衬底基板(1)的一侧面,第一导电层包括多条第一导电线(21),第一导电线(21)连接于两导电柱(11)之间,第一导电线(21)用于形成第一电感(L1)线圈的部分结构;第二导电层位于第一导电层背离衬底基板(1)的一侧,第二导电层包括第二导电线(42),第二导电线(42)与第一导电线(21)对应设置,第二导电线(42)通过过孔(H)连接与其对应的第一导电线(21)。该滤波器具有较好的稳定性。

    微机电系统开关及其制造方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116941008A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202280000242.3

    申请日:2022-02-22

    IPC分类号: H01H59/00

    摘要: 本发明提供一种微机电系统开关及其制造方法,该微机电系统开关包括绝缘基底、驱动电极、第一绝缘层、第一信号传输线和第二信号传输线,其中,绝缘基底的第一表面形成有第一区域,且第一区域相对于第一表面更靠近绝缘基底背离第一表面的表面,驱动电极设置于第一区域;第一绝缘层完全覆盖驱动电极;第一信号传输线设置于第一绝缘层背离绝缘基底一侧的表面;第二信号传输线包括连为一体的信号传输段和悬臂段,信号传输段设置于绝缘基底的第一表面,悬臂段悬置于第一信号传输线背离绝缘基底一侧。本发明提供的微机电系统开关及其制造方法,不仅可以简化开关结构、降低工艺复杂程度,而且可以减少悬臂变形和断裂的几率,提高悬臂的可靠性。