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公开(公告)号：CN114551166A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210162889.8
申请日：2022-02-22
申请人： 北京京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本公开提供一种微机电系统开关及其制备方法，属于射频开关技术领域。本公开的微机电系统开关包括衬底基板；膜桥，其包括与衬底基板相对设置的第一桥体，以及设置在衬底基板上用于支撑第一桥体的至少一个连接臂；驱动电极，设置在第一桥体靠近衬底基板的一侧，且与第一桥体之间存在一定的空间；第一绝缘层，至少覆盖驱动电极靠近第一桥体的表面；辅助功能结构，至少设置在第一桥体上，且辅助功能结构的弹性模量大于第一桥体的弹性模量。
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公开(公告)号：CN114121929A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111331487.8
申请日：2021-11-11
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
摘要： 本公开提供一种集成有无源器件的基板及其制备方法，属于射频器件技术领域。本公开提供了一种集成有无源器件的基板的制备方法，其包括：提供一介质层，介质层包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，介质层上具有沿其厚度方向贯穿的第一连接过孔。在第一连接过孔内形成第一转接电极，分别在介质层的第一表面和第二表面集成子电路，子电路至少包括无源器件，第一转接电极将位于第一表面的子电路和位于第二表面的子电路电连接。
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公开(公告)号：CN114070222A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111371683.8
申请日：2021-11-18
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
摘要： 本公开提供一种滤波器及其制备方法，属于射频器件技术领域。本公开提供一种滤波器，其包括叠层设置的第一基板和第二基板。其中，第一基板包括第一介质基板，以及集成在第一介质基板上的滤波电路。第二基板包括第二介质基板，第二介质基板包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，在第一表面上设置有转接电路。转接电路与滤波电路电连接，第二介质基板上设置有在其厚度方向上贯穿的第一连接过孔，在第一连接过孔中设置信号引入电极，在第二表面上设置有第一连接端，信号引入电极一端与第一连接端电连接，另一端与转接电路电连接。
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公开(公告)号：CN117355937A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202280000677.8
申请日：2022-03-31
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
IPC分类号： H01L23/48
摘要： 一种基板制备方法，包括提供包括至少一个盲孔(K2)的基底(10)，基底(10)包括相对设置的第一表面(11)和第二表面(12)，盲孔(K2)由第一表面(11)的一侧延伸至基底(10)内部，盲孔(K2)的孔径沿第一表面(11)至第二表面(12)的方向逐渐减小。在盲孔(K2)内形成连接电极(30)。沿第二表面(12)至第一表面(11)的方向对基底(10)进行减薄，减薄后盲孔(K2)形成贯穿基底(10)的过孔。还提供了包括该基板的集成无源器件及电子装置。
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公开(公告)号：CN116793545A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202210304418.6
申请日：2022-03-16
申请人： 北京京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本申请属于压力传感器技术领域，尤其涉及一种压力传感器及其制备方法，该压力传感器具体包括：基底；感压芯片，与所述基底相连接；密封罩，内部形成有腔体，并且与所述感压芯片相连接；引线通孔，贯穿于所述密封罩内，并且其内壁面设置有导电层，所述引线通孔位于所述密封罩开口侧的端部与所述感压芯片相连接；以及引线，一端与所述导电层相连接，另一端延伸至所述密封罩外；综上所述，本申请一方面通过密封罩的设计对感压芯片进行保护，从而有效避免外界环境对感压芯片的影响，提升压力传感器的环境适用性，另一方面采用本申请的设计可以对压力传感器实现晶圆级封装，从而提升加工自动化，提升加工效率。
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公开(公告)号：CN118556274A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202280001938.8
申请日：2022-06-29
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
摘要： 本公开提供一种电感及其制备方法、滤波器、电子设备，属于电子元件技术领域。本公开的电感，其包括：第一介质基板(10)，包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一介质基板(10)具有沿其厚度方向上贯穿的第一连接过孔(11)，以及贯穿第一介质基板(10)的至少部分的第一槽部(12)；第一子结构(21)，设置在第一表面；第二子结构(22)，设置在第二表面；第一连接电极(25)，设置在第一连接过孔(11)内，并将第一子结构(21)和第二子结构(22)顺次连接形成电感的线圈结构；磁芯(3)设置在第一槽部(12)内，且磁芯(3)与第一子结构(21)和第二子结构(22)绝缘设置，且位于线圈结构内。
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公开(公告)号：CN117941256A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202280002823.0
申请日：2022-08-24
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
IPC分类号： H03H9/64
摘要： 本公开提供了一种混合滤波器及其制备方法、滤波装置。混合滤波器包括相对设置的第一基板(100)和第二基板(200)，第一基板(100)和第二基板(200)之间设置有第一空间(300)，第一基板(100)和第二基板(200)中的至少一个设置有薄膜体声波谐振器(30)，第一基板(100)和第二基板(200)中的至少一个设置有至少一个无源滤波器(40)，薄膜体声波谐振器(30)设置在第一空间(300)内，且与无源滤波器(40)连接，无源滤波器(40)包括滤波电感和滤波电容，滤波电感为三维螺旋电感结构。
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公开(公告)号：CN117413359A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202280000935.2
申请日：2022-04-27
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
IPC分类号： H01L23/64
摘要： 一种滤波器及其制作方法、电子设备，滤波器包括第一电感(L1)，滤波器还包括：衬底基板(1)、多个导电柱(11)、第一导电层、第二导电层，衬底基板(1)的侧面上形成多个贯穿衬底基板的通孔(TGV)；多个导电柱(11)与通孔(TGV)对应设置，导电柱(11)填充于与其对应的通孔(TGV)内，导电柱(11)用于形成第一电感(L1)线圈的部分结构；第一导电层位于衬底基板(1)的一侧面，第一导电层包括多条第一导电线(21)，第一导电线(21)连接于两导电柱(11)之间，第一导电线(21)用于形成第一电感(L1)线圈的部分结构；第二导电层位于第一导电层背离衬底基板(1)的一侧，第二导电层包括第二导电线(42)，第二导电线(42)与第一导电线(21)对应设置，第二导电线(42)通过过孔(H)连接与其对应的第一导电线(21)。该滤波器具有较好的稳定性。
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公开(公告)号：CN116941008A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202280000242.3
申请日：2022-02-22
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
IPC分类号： H01H59/00
摘要： 本发明提供一种微机电系统开关及其制造方法，该微机电系统开关包括绝缘基底、驱动电极、第一绝缘层、第一信号传输线和第二信号传输线，其中，绝缘基底的第一表面形成有第一区域，且第一区域相对于第一表面更靠近绝缘基底背离第一表面的表面，驱动电极设置于第一区域；第一绝缘层完全覆盖驱动电极；第一信号传输线设置于第一绝缘层背离绝缘基底一侧的表面；第二信号传输线包括连为一体的信号传输段和悬臂段，信号传输段设置于绝缘基底的第一表面，悬臂段悬置于第一信号传输线背离绝缘基底一侧。本发明提供的微机电系统开关及其制造方法，不仅可以简化开关结构、降低工艺复杂程度，而且可以减少悬臂变形和断裂的几率，提高悬臂的可靠性。
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公开(公告)号：CN115694392A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210415426.8
申请日：2022-04-20
申请人： 北京京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本公开提供一种滤波器及制作方法、电子设备，属于微波技术领域，可解决电感Q值低的问题。本公开提供一种滤波器包括：相对设置的第一基板和第二基板，在第一基板和第二基板之间设置介质空腔；滤波器还包括：至少一个电感，电感包括在第一基板的第一表面上设置有第一平面电感结构，在第二基板的第一表面上设置有第二平面电感结构，以及在介质空腔内设置有柱状电感结构，柱状电感结构的第一端部和第二端部分别与第一平面电感结构和第二平面电感结构电连接；至少一个电容，电容设置在第一基板的第一表面，且电容与电感电连接。
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