本发明涉及非接触角测量设备和方法。一种非接触角测量设备包括物质波和能量(MWE)粒子源和检测器。MWE粒子源用于生成玻色子或费米子粒子。检测器用于检测由1)与第一平面的缝、凸块或孔对应的玻色子或费米子粒子和2)与被第二平面反射的玻色子或费米子粒子相关联的物质波的波前分割生成的干涉图案的多个峰或谷，其中，所述干涉图案的所述多个峰或谷的角位置、所述第一平面与所述第二平面的接合区域之间的第一距离、以及所述检测器和所述缝、凸块或孔之间的第二距离用于决定所述第一平面和所述第二平面之间的角度。