发明授权
- 专利标题: 一种声表面波滤波器晶圆封装方法及芯片
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申请号: CN202210413031.4申请日: 2022-04-20
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公开(公告)号: CN114512412B公开(公告)日: 2022-07-12
- 发明人: 朱其壮 , 朱杉 , 陈振国 , 金科 , 吕军
- 申请人: 苏州科阳半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市漕湖街道方桥路568号
- 专利权人: 苏州科阳半导体有限公司
- 当前专利权人: 苏州科阳半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市漕湖街道方桥路568号
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 任德欣
- 主分类号: H01L21/52
- IPC分类号: H01L21/52 ; H01L21/78 ; H03H3/08 ; H03H9/64
摘要:
本发明涉及声表面波滤波器技术领域,尤其涉及一种声表面波滤波器晶圆封装方法,包括:声表面波滤波器晶圆的第一表面上设置有电极和关键功能区,声表面波滤波器晶圆设置有切割区域,电极和关键功能区不在切割区域内,采用隐形激光切割工艺在切割区域内加工形成改质层,改质层不延伸到表面。盖板晶圆的第二表面上设置有待切区域,待切区域与切割区域相对应,采用光刻工艺在待切区域内间隔均匀加工多个凸块。采用点胶或印胶工艺在第二表面上形成胶水区,胶水区对应电极所在区域,且不对应关键功能区,将声表面波滤波器晶圆与盖板晶圆键合,以使第一表面与第二表面相对设置。本发明还提供了使用上述声表面波滤波器晶圆封装方法制造的芯片。
公开/授权文献
- CN114512412A 一种声表面波滤波器晶圆封装方法及芯片 公开/授权日:2022-05-17
IPC分类: