一种声表面波滤波器晶圆封装方法及芯片
摘要:
本发明涉及声表面波滤波器技术领域,尤其涉及一种声表面波滤波器晶圆封装方法,包括:声表面波滤波器晶圆的第一表面上设置有电极和关键功能区,声表面波滤波器晶圆设置有切割区域,电极和关键功能区不在切割区域内,采用隐形激光切割工艺在切割区域内加工形成改质层,改质层不延伸到表面。盖板晶圆的第二表面上设置有待切区域,待切区域与切割区域相对应,采用光刻工艺在待切区域内间隔均匀加工多个凸块。采用点胶或印胶工艺在第二表面上形成胶水区,胶水区对应电极所在区域,且不对应关键功能区,将声表面波滤波器晶圆与盖板晶圆键合,以使第一表面与第二表面相对设置。本发明还提供了使用上述声表面波滤波器晶圆封装方法制造的芯片。
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